2026-04-28(临时公告)
| 股东名称 | 股东性质 | 持股数量 | 占总股本比例(%) | 较上期持股表动数 | 占总股本比例变动(%) | 股本性质 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 投资公司 | 46,591,776 | 16.48 | 不变 | -0.0200↓ | 流通A股 |
| 国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙) | 私募基金 | 37,888,000 | 13.40 | 不变 | -0.0200↓ | 流通A股 |
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 其它 | 17,778,698 | 6.29 | -1,336,639↓ | -0.4800↓ | 流通A股 |