2026-07-01(增发上市)
| 股东名称 | 股东性质 | 持股数量 | 占总股本比例(%) | 较上期持股表动数 | 占总股本比例变动(%) | 股本性质 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 投资公司 | 46,591,776 | 16.03 | 不变 | -0.4500↓ | 流通A股 |
| 国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙) | 私募基金 | 37,888,000 | 13.03 | 不变 | -0.3700↓ | 流通A股 |
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 其它 | 17,778,698 | 6.12 | 不变 | -0.1700↓ | 流通A股 |
| 香港中央结算有限公司 | 其它 | 13,709,378 | 4.72 | 不变 | -0.1300↓ | 流通A股 |
| 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 其它 | 3,935,362 | 1.35 | 不变 | -0.0400↓ | 流通A股 |